大的阻碍。
而沉浸式光刻的关键则在于折射之后的定位技术、工作台设计、纯水工作循环、投影修正等诸多问题,由此又涉及到了磁悬浮工作台技术,只有从气悬浮到磁悬浮工作台的进步,才能为沉浸式投影提供足够的精度和稳定性,二次曝光则通过多次重叠曝光的方式增强了沉浸式光刻技术的上限、提升了成品率和降低了技术实现的难度,最终形成了一整个的技术体系。
而一旦形成所谓的技术体系,那么也就是说沉浸式光刻成为了光刻技术发展路线上,无法逾越的一条必经之路。
在相关专利的有效期限之内,也就是说未来三十年时间里,如果国际半导体行业不带中国玩了,那大家就得一拍两散,都没得玩。按照现行的光刻技术路线来说,不采用沉浸式光刻技术,那么半导体产业很可能在微米工艺上止步不前。
换句话说,摩尔定律能否在2000年以后继续实现,全看巴统委员会要怎么选择了。
半导体产业在九十年代初虽然没有成为世界经济支柱,但克林顿已经制定了基于半导体产业、信息网络等一系列新经济政策,并将其作为美国经济发展的重要支柱。
世界范围内,信息产业虽然还不及能源、汽车和金融等旧日巨头,可增长指数却独领风骚。
传统通信业、寻呼和无线通信,自动化控制、电子仪器仪表、电子娱乐和功率半导体,还有更多几乎数不清的集成电路技术正在应用于普通人的生活场景之中。它们虽然看不到,但是确实正在深刻的改变整个人类社会。
不管是华尔街还是伦敦金融城,从巴黎到瑞士,从东京到新加坡,各国都在着手进行半导体产业布局。这个时候新科发表了这样的宣言,又怎么可能不被各国所重视?
而实际上这条新闻究竟是因何而起,大家心里都一清二楚。
香江晶圆厂原本是新科追踪国际先进半导体技术的窗口,结果英国人不知道脑袋怎么抽了似的去摸了老虎屁股。新科采用沉浸式技术已经有不短时间了,之前也许有技术还不成熟的因素,可也一直是比较低调的。
结果现在港英政府方面突然要掀桌子,难道以为新科真是面团捏的不成?
这不是,既然你们要掀桌子,那人家现在干脆就要防火烧厨房了。
我也不跟你一般计较,这倒也是,以新科的体量和港英方面有什么好说的呢?如果有人在路上被谁家的狗咬了,打狗一顿是没用的——直接打狗主人才能让狗长记性。
当然,面对新科的反击,英国人也并没有那么容易就放弃自己的计划。
“新科方面这种不负责任的言论,对事情的解决是没有积极意义的。”
香江晶圆厂很快也召开了记者招待会,负责对外工作的副总克莱尔站在台前
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